含工业卤烃废水的物化处理方法主要有以下几种。
（1）混凝沉降法
极大部分卤烃在水中的溶解度很小，因此在不少场合下可用含油废水的处理法处理含工业卤烃废水。混凝沉降即是一个常用的方法。
（2）吸附或粗粒化法
废水中的工业卤烃，可用吸附法去除，一般如果卤烃的沸点小于200℃，则吸附饱和后很容易用蒸汽解吸再生。
（3）蒸馏器提法
用蒸馏法、汽提法或吹脱法可从废水中回收二氯乙烷、二氯乙烯、过氯乙烯及氯苯等。
（4）萃取法
制药工业中汽提废水里的氯仿可用碱化煤油作为萃取剂，将其从残液中分离，并可方便地通过常压水蒸气蒸馏进行分离回收。
（5）膜技术处理法
用膜技术来去除废水中的卤烃，比较成功的例子是处理氯苯。所用的膜有MGA-100、改性聚乙烯、赛璐玢、醋酸纤维素、合成皮革、氯化聚氯乙烯以及其他特种膜等。对废水中的苯、氯苯、邻二氯苯、间二氯苯、对二氯苯等用醋酸纤维膜或芳香聚酰胺膜进行反渗透处理，回收率一般在30%～40%。
（6）水解法
大部分卤烃能通过水解转换成醇、醛、酮或酸，可以提高其生物可降解性及可处理性，水解常在碱性条件下进行，加热可以加快水解反应的速度。
（7）沉淀法
二氯甲烷可用沉淀法处理，如用乙二醇、二乙二醇、三乙二醇或多乙二醇与氢氧化钾生成的盐作用，即可生成固体反应产物从废水中分出。
（8）燃烧法
对含有记卤素化合物多的废水或高COD的含卤烃废水，可以考虑用燃烧法处理。但这类废水在燃烧时均会产生氯化氢气体，必须加碱中和或回收氯化氢或盐酸。燃烧可在旋风炉或其他类型的燃烧炉中进行，燃烧温度应在1000℃左右，以保证燃烧完全。如果不回首氯化氢或盐酸，则尾气应用碱液洗涤，也可在燃烧前，事先加入超出计算量10%的氢氧化钠或碳酸钠，以中和燃烧时生成的氯化氢。当能量不足时，在燃烧时还应辅以燃料。
（9）催化氧化
废水中的卤烃可以在气相或液相下进行催化氧化而去除。
（10）化学氧化及电解氧化
含有机卤素化合物的废水可以用光分解的方法进行处理，例如，能发出172nm波长的氙灯可以用来降解四氯化碳。
另外，经过驯化的微生物也可以降解含工业卤烃的废水。
